氦檢儀在真空度校驗中有什么應用？氦是一種惰性氣體，不會對設備產(chǎn)生腐蝕，不與真空器件起化學反應，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分**。對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術是真空檢測領域中不可缺少的一項技術，由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點，在電阻爐檢測泄漏中被普遍應用。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。浙江自動氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設備;⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。氦質(zhì)譜檢漏技術用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經(jīng)濟損失。常州進口氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。

氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。氦質(zhì)譜檢漏儀應用領域：學?？蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。杭州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。浙江自動氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。浙江自動氦質(zhì)譜檢漏儀單位

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