本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

對于工業(yè)應(yīng)用來說，有時(shí)并不需要機(jī)械手臂具有完整的六個(gè)自由度.深圳庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位

自動(dòng)化方面，機(jī)械吸臂將與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備和自動(dòng)化生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)更緊密的集成，實(shí)現(xiàn)整個(gè)生產(chǎn)過程的全自動(dòng)化運(yùn)行。通過與工廠的自動(dòng)化控制系統(tǒng)進(jìn)行無縫對接，吸臂可以按照預(yù)設(shè)的生產(chǎn)流程和任務(wù)計(jì)劃，自動(dòng)完成晶圓的搬運(yùn)、上下料等操作，無需人工干預(yù)，極大提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性。網(wǎng)絡(luò)化方面，借助物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和管理。操作人員可以通過網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)程對吸臂的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測、數(shù)據(jù)分析和故障診斷，及時(shí)采取相應(yīng)的措施進(jìn)行維護(hù)和管理。同時(shí)，網(wǎng)絡(luò)化的吸臂還可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程升級和優(yōu)化，方便制造商對設(shè)備進(jìn)行技術(shù)更新和改進(jìn)，提高設(shè)備的適應(yīng)性和競爭力。深圳庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂采用先進(jìn)的吸附技術(shù)，可穩(wěn)定地吸附晶圓。

對于晶圓狀態(tài)的檢測，主要包括晶圓的存在檢測、位置偏差檢測和表面質(zhì)量檢測等。通過光電傳感器或電容傳感器可以快速檢測晶圓是否正確放置在吸臂上，以及在搬運(yùn)過程中是否發(fā)生位移。表面質(zhì)量檢測傳感器則可以實(shí)時(shí)監(jiān)測晶圓表面是否有劃痕、顆粒污染等缺陷，一旦發(fā)現(xiàn)異常情況，及時(shí)發(fā)出警報(bào)并采取相應(yīng)措施，以保證晶圓的質(zhì)量不受影響?；谶@些豐富的傳感器數(shù)據(jù)，控制系統(tǒng)可以對機(jī)械吸臂進(jìn)行精確的控制?？刂葡到y(tǒng)采用先進(jìn)的算法和控制器，如PID控制算法、模糊控制算法等，根據(jù)傳感器反饋的信息實(shí)時(shí)調(diào)整吸臂的運(yùn)動(dòng)速度、加速度和力量，確保晶圓在搬運(yùn)過程中的平穩(wěn)性和準(zhǔn)確性。同時(shí)，控制系統(tǒng)還具備與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備的通信接口，能夠?qū)崿F(xiàn)協(xié)同工作和自動(dòng)化生產(chǎn)流程的無縫對接。例如，在晶圓送入光刻機(jī)進(jìn)行曝光工藝時(shí)，機(jī)械吸臂可以與光刻機(jī)的控制系統(tǒng)進(jìn)行通信，按照預(yù)定的程序和時(shí)間節(jié)點(diǎn)將晶圓準(zhǔn)確地放置在光刻機(jī)的工作臺(tái)上，并在曝光完成后將晶圓**取出，整個(gè)過程高度自動(dòng)化且精確無誤。

    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了減少浪費(fèi)，只裁剪個(gè)圓形小口，叫做Notch。***再進(jìn)行切片，得到的晶圓如下。那么，這個(gè)小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了。所以，為什么“晶圓”沒有方的？？？**很簡單，是一個(gè)歷史遺留的問題，也是一個(gè)技術(shù)限制的問題。而且，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～。 手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運(yùn)動(dòng)速度為啟動(dòng)，由常速減到停止不動(dòng)為制動(dòng)，速度的變化過程為速度特性曲線。

機(jī)械臂的工作原理：

一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺(tái)虎鉗）、斜鍥壓緊、

導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等。還有簡單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購買FESTO等公司的氣動(dòng)手指。

底座是用來安裝和固定機(jī)器的。

油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。

升降位置檢測器，要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置，要么是實(shí)時(shí)檢測其高度的。

手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。

手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器，只是測量對象換了。

機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動(dòng)作功能，用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動(dòng)操作裝置。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個(gè)主自由度。深圳本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計(jì)

科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。深圳庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位

傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”，實(shí)時(shí)監(jiān)測吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài)，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測方面，通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位移，從而確定吸臂在空間中的位置坐標(biāo)。陀螺儀則用于監(jiān)測吸臂的旋轉(zhuǎn)速度和方向變化，幫助控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)整運(yùn)動(dòng)姿態(tài)，確保吸臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)和準(zhǔn)確。激光傳感器可以對周圍環(huán)境進(jìn)行掃描和測距，輔助吸臂在復(fù)雜的工作場景中避開障礙物，實(shí)現(xiàn)**的晶圓搬運(yùn)。深圳庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位

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